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磁懸浮復合分子泵

Osaka復合分子泵使用磁懸浮軸承實現無油的排氣,而且維護周期長。提供排氣速度300L/s~3400L/s的產品。

特點

全方位安裝
輕巧設計
節能
分子泵停止與啟動時間短
附帶維護警報機能
低振動
無需調整
自動校準
可控制轉子旋轉速度
大流量排氣
多種通信模式
符合安全規格 NRTL/SEMI-S2/CE

應用

半導體制造

電子槍排氣,離子源排氣

FPD制造

表面處理,表面改質

各種電子部件的制造

分析,試驗裝置

管球制造,光學部件制造

加速器,放射線設施,核聚變研究

熱處理

研究開發

技術規格

型號

TG390M

TG420M

TG900M

TG1300M

TG2400M

法蘭

吸氣口ISO-R/CF

100

160

160

200

250

排氣口

KF25

KF25

KF40

KF40

KF40

排氣速度

N2(附加金屬過濾網)

320L/s

370L/s

860L/s

1230L/s

2300L/s

H2

290L/s

300L/s

1050L/s

1200L/s

1100L/s

最大壓縮比

N2

1×108

1×108

1×108

1×108

1×108

H2

4.3×103

4.5×103

1.5×104

1.5×104

1.5×103

極限壓力

ISO-R/CF

<1×10-6Pa/<1×10-7Pa

<1×10-6Pa/<1×10-7Pa

<1×10-6Pa/<1×10-7Pa

<1×10-6Pa/<1×10-7Pa

<1×10-6Pa

最大氣體流量

N2(sccm)

2000

2000

3000

3000

3000

推薦輔助泵

≥160L/min

≥160L/min

≥250L/min

≥250L/min

≥500L/min

容許輔助壓力

400Pa

400Pa

500Pa

500Pa

200Pa

重量Kg

ISO-R/CF

14/17

14/17

34/42

34/42

45/54

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