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347 Stabil-Ion

Granville-Phillips 347模塊真空計是不需要前面板顯示和控制應用的理想解決方案。這些緊湊,方便,可靠、節約成本的是將控制電子器件直接安裝在規管上實現的。全金屬包覆提供了堅固的外殼和高水平的抗電氣噪音能力。

 

Stabil-Ion模塊有模擬量型和DeviceNet型可選。DeviceNet型會有兩個設定點繼電器。這些繼電器可以用于工藝控制或安全互鎖。DeviceNet型也可以提供顯示選項,可以本地指示真空系統壓力的讀值。Stabil-lon模塊是包括Mini-Convectron模塊、Micro-Ion模塊和Micro-lon Plus在內的Granville-Phillips模塊產品線的一部分。

特點

優越的Stabil-lon規管性能集中于緊湊的模塊中

從10-11 Torr開始精準測量真空壓力(10-11mbar,10-9 Pa)

雙規絲增加設備的正常運行時間

模擬量和DeviceNet接口

模塊化設計允許快速簡便的進行規管更換

DeviceNet型獲CE認證

Stabil-Ion規管技術

穩定、精準、可靠的Stabil-lon規管是多年測試和設計的成果。Stabil-lon規管是僅有的不必隨時間推移而改變校準值的高真空工藝控制規管。它擁有一系列獲專利的增強特性包括張緊的燈絲、精密繞制消除應力的柵極、以及靜電屏蔽。這些在電離規中的增強成果使得它在精準度、重復性以及規管與規管間的再現性等特性上都優于其他設計。Stabil-lon規管的高測量性能和穩固的設計使其成為重要真空工藝的規管選擇。


Stabil-lon模塊的特性和優勢

堅固的不銹鋼外殼:防止柵極和燈絲損壞安裝期間,消除了玻璃破碎險。

拉緊的燈絲:保持精確定位從而保持校準特性。

靜電屏蔽:完整環繞電極結構-提供穩定的,增強精度的電氣環境。

精密繞制,消除應力的陽極:即使在高溫除氣之后仍保持其初始形狀,從而減少測量誤差。

真空燒制組件:規管的設計、結構及制造工藝都盡可能選取放氣最小化的方案。規管制造過程中從不與裸手接觸。

量程選擇量程及雙燈絲:可提供擴展的范圍或超高真空規管,有耐燒斷的鍍氧化釔涂層的銥絲和耐腐蝕的鎢燈絲選擇。利用第二根燈絲做備份直到正常的維護周期再更換規管可以避免意外停機。

寬量程:從1×10 -9 2×10-2Torr 的連續真空系統特性監控。

簡化的模塊設計:電子器件和傳感器合井在一個緊湊地,便于安裝的模塊中。不需要特殊工具就可以快速簡便地更換規管。

兩種輸出形式:模塊可提供不帶設定點的模擬量輸出型或是帶兩個設定點的DeviceNet通訊型。

彈性的DeviceNet網絡電源:規管電源通過DeviceNet微型接口提供或通過單獨的接口提供均可。

工藝設定點:帶有工藝設定點的產品中,觸點繼電器可用來控制其他真空器件或實現安全互鎖。設定點會存于非易失性存儲器中。

DeviceNet型的本地顯示:DeviceNet型產品可以選擇簡單易讀的LED顯示器,用來指示測量點的壓力。顯示方向可以根據安裝位置靈活翻轉。

技術規格

空氣與N2的測量范圍
(見注釋1、2)
超高真空規管

Torr

2X10-11至2X10-2

mbar

3X10-11至3X10-2

Pa

3X10-9至3
擴展量程規管

Torr

2X10-10至2X10-2

mbar

3X10-10至3X10-2

Pa

3X10-8至3
測量N2精度(見注釋4)
±25%讀數,從1X10-8至1X10-4Torr
重復性(見注釋5)
±3%讀數,從1X10-8至1X10-4Torr
發射電流
0.1mA和4mA
X射線極限(見注釋3)

超高真空規管

2X10-11Torr, 3X10-11mbar, 3X10-9Pa

延伸范圍規管

2X10-10Torr, 3X10-10mbar, 3X10-8Pa
除氣
電子轟擊,200W 2分鐘累時器控制

燈絲材質

銥絲鍍氧化釔或鎢絲
工作溫度
0-40℃,不結露

非工作溫度

-40-70℃

規管烘烤溫度

最高450℃,移除電子器件

供電要求

24VDC ±15%,最大75W; 3.75A 20VDC

外殼材料

鑄鋁
CE認證(僅DeviceNet型)

EMC電磁兼容指令
891336/EEC;EN 50081-2,EN 50082-2,EN 61326
低壓指令
73123/EEC;EN 61010

毛重

800 gm (1lbs, 12. 5 oz)

顯示選項(見注釋6)

3位數顯加指數顯示,綠色LED,Torr,mbar或Pa

設定點觸點(見注釋7)

單刀雙擲(SPDT)

觸點負載

1A 30VDC阻抗,無感

DeviceNet型

兩個繼電器
其它接觸氣體材料
適用于真空條件,超高真空兼容

內部容積

73 cm 3(4.45 inch 3)至篩網口的容積

1.測量結果會隨不同氣體和混合情況而改變。操作說明書里提供了常用氣體的修正參數。

2.Stabil-lon模塊不能用于易燃易爆氣體測量。

3.X射線極限是規管的最小絕壓讀值。在X射線極限附近不可能進行重復測量。

4.精度(規管讀數和校驗參考標準之間的差異)是通過數據統計確定的并且包括了規管和電子器件的綜合性能。

5.重復性是指同一模塊在不同時間讀取相同壓力值的能力。

6.顯示功能僅DeviceNet型模塊可選。

7.Device Net型模塊帶兩個繼電器設定點,模擬量輸出型模塊無設定點繼電器。

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