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SQM-160 薄膜沉積監控器

SQM-160 使用成熟的 INFICON 石英晶體傳感器技術在薄膜沉積過程中測量速率和厚度。兩個傳感器輸入為標準輸入,另外四個傳感器輸入為可選輸入。兩個錄像機輸出可提供模擬速率和厚度信號。

傳感器輸入可分配給不同的材料,在大型系統中平均分配以實現精確的沉積控制,或者配置為雙傳感器。速率采樣模式可在高速率過程中屏蔽傳感器,從而延長傳感器的使用壽命。速率顯示為 0.1?/s 或 0.01?/s,用戶可自行選擇。此外,還可以選擇頻率或質量顯示。憑借四個繼電器輸入,SQM-160 可控制來源或傳感器屏蔽、信號時間和厚度設定點以及信號晶體失效。數字輸入允許外部信號啟動/停止和歸零讀數

特點

兩個標準測量通道,另外四個可選

模擬輸出便于記錄速率/厚度

高分辨率選件:0.03 Hz,10 讀數/秒

RS-232 標準接口,可選擇連接 USB 或以太網

技術規格

型號
SQM160標準分辨率SQM160高分辨率
QCM輸入2(可選4)
測量頻率范圍可調:
1.0 MHz最低
6.5 MHz最高
頻率分辨率
0.1s測量間隔
± 0.30Hz
± 0.03Hz
厚度和速率分辨率/測量
工具/密度 = 100/1,基礎頻率 = 6赫茲,0.1秒測量間隔
±0.37 ?
±0.037 ?
頻率穩定性± 2 ppm, 0至50℃
測量周期0.10至2s(可調)
控制
存儲膜系
模擬輸出
數字輸入/輸出

99
2個0-5V直流,速率和膜厚
2個輸入,四個繼電器輸出
電氣接口RS232標準(USB、以太網口可選)
電源電壓100-240VAC,20W
標準CE,RoHS

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