成都四洋科技有限公司官方網站

薄膜沉積控制器

SQC-310 薄膜沉積控制器憑借先進的技術、增強的顯示和實惠的價格,INFICON SQC-310 系列提供同類薄膜控制器無法企及的優勢。您可以為自己的應用選擇理想的型號:連續沉積 (SQC-310) 或共沉積 (SQC-310C)。

特點

明亮的彩色 LCD 顯示屏 - 提供英文或中文版本

標準 RS-232 和 USB(可選 RS-232 和以太網)

設有 “Quick Setup”(快速設定)菜單、6 個區分上下文按鈕以及一個簡便的參數設定旋鈕,易于設定和操作

用于開發、測試和下載過程的 Windows程序,以及用于將儀器數據記錄到 PC 進行過程分析與質量控制的 Windows 程序

精確的過程控制,尤其適用于低沉積速率,測量速率為每秒 10 個讀數,測量分辨率為 ±0.03 Hz

存儲容量可達 100 個過程、1000 層薄膜、50 種薄膜材料

使用單傳感器或多傳感器監控源材料,提供精確的源分布監控

技術規格

型號
SQC310SQC310C
QCM輸入2(可選4)4
測量頻率范圍可調:
1.0 MHz最低
6.5 MHz最高
頻率分辨率
0.25s測量間隔
± 0.012Hz
厚度和速率分辨率/測量
工具/密度 = 100/1,基礎頻率 = 6赫茲,0.25秒測量間隔
±0.015 ?
頻率穩定性± 2 ppm, 0至50℃
測量周期0.10至1s(可調)
速率顯示0.01 ?/sec
控制
存儲
輸出信號
數字輸入

100 個過程、1000 層薄膜、50 種薄膜材料
0至+10VDC
5VDC-非隔離
設定點繼電器8/8(16/16可選)16/16
電氣接口RS232標準(USB、以太網口可選)
電源電壓100-240VAC,25W
標準CE,RoHS

訂購資料



版權所有? 成都四洋科技有限公司官方網站    蜀ICP備14007155號    技術支持: 竹子建站
超碰国产人人做人人爽