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殘余氣體分析儀

XT系列

Extorr是一家專業研究及生產殘余氣體分析儀(RGA)的公司,擁有XT系列殘余氣體分析儀,原理是四極質譜儀,RGA內置電阻規和離子計。是一種重要的測量設備,可用于任何真空系統。Extorr XT殘留氣體分析儀(RGA)有1-100amu,1-200amu和1-300amu質量數范圍。RGA配置一個標準的CF2.75英寸法蘭。每個功能都具有自動啟動和關閉,并將不斷監測從大氣壓至超高真空。內置的皮拉尼壓力計和離子壓力計不斷監測總壓力,并調節和保護RGA。這些功能被無縫地集成到Extorr VacuumPlus軟件包中。

特點

內置皮拉尼壓力計和離子壓力計的殘余氣體分析儀
1-100、1-200和1-300 amu質量數范圍可選
標準法拉第探測器(FC)與可選的電子倍增器(EM)
實時Windows軟件能夠進行多臺RGA同時操作
現場可更換兩根敷釷的銥絲
優于1 amu分辨率
8個數量級的動態范圍在一次掃描
質譜,泄漏檢測和壓力隨時間的變化
內建診斷,容易升級的軟件和固件
完全可插入的探頭

應用

泄漏測試

等離子體特性

基準壓力監測

表面科學

真空工藝監控

真空技術教育

真空爐監控

材料制造

電子顯微鏡

材料分析

RGA技術規格

質量數范圍
XT100
1-100 amu 法拉第杯 (FC)
XT200
1-200 amu 法拉第杯 (FC)
XT300
1-300 amu 法拉第杯 (FC)
XT100M
1-100 amu 法拉第杯 (FC)和電子倍增器 (EM)
XT200M
1-200 amu 法拉第杯 (FC)和電子倍增器 (EM)
XT300M
1-300 amu 法拉第杯 (FC)和電子倍增器 (EM)
類型
四極質譜儀
探測器類型
標準:法拉第杯 (FC)
可選:電子倍增器 (EM)
分辨率
大于0.5 amu@10%峰值高度。可在整個質量范圍內調節至恒定的峰值寬度。
靈敏度(A/Torr)
5×10-4Torr(FC)。用戶可在整個高壓范圍內調節。用N2@28 amu測量,全峰寬1 amu,高度10%,電子能70 ev,離子能6 ev,電子發射電流2 mA。
最小可檢測分壓
5 × 10–11 Torr (FC)
 5 × 10–14 Torr (EM)
工作范圍
RGA:≤10–4 Torr
皮拉尼計:10–3 Torr至大氣壓
離子計:≤10-2Torr
工作溫度
電路部分:50℃
探頭:100℃
烘烤溫度
300℃(僅探頭,移除電路部分)
總壓強測量
皮拉尼計:10-3 Torr 至大氣壓,
離子計:2 x 10-10 Torr至10-2 Torr
離子源
設計
開放離子源,電子撞擊電離
材質
SS304、Kovar、鎢、氧化鋁、銥、銅、鎳、氧化釷、白金
燈絲
雙釷涂層銥燈絲,帶固件保護。內置1到30W的電子脫氣裝置(可現場可更換)
電子能量
11至150V,可編程的
離子能量
1至12V,可編程的
聚焦電壓
0至150V,可編程的
發射電流
0.1至4 mA,可編程的
其他參數
探頭長度
172.72mm,從法蘭到頂端
法蘭
CF40(2.75”)
探頭最小管內徑
35mm
電路部分體積
84 x 122 x 188mm, 可拆卸
預熱時間
30分鐘質量穩定性±0.1 amu
計算機接口
RS-232C, 至高115,200波特率,或USB.
最低PC要求
PC運行Windows 2000, XP, 7,8或10系統,1024 x 768VGA圖形顯示器,鍵盤,鼠標,光盤驅動器,和一個未使用的USB或RS-232C端口。
軟件
隨機附帶VacuumPlus窗口軟件,基于應用程序需要Windows 2000,XP,7,8,10系統
電源
24 VDC @ 2.5 Amps,120/240 VAC電源適配器.
重量
2.27Kg(探頭及電路部分)
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