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冷陰極皮拉尼復合真空計

INFICON反磁控管皮拉尼復合真空計,MPG400 和 MPG401,測量范圍為 5 x 10-9 mbar 至大氣壓力(3.8 x 10-9 Torr 至大氣壓力)。將多項技術融入帶有一個對數模擬輸出信號的單個緊湊型裝置中,顯著降低了安裝、設置和集成的復雜性。

特點

復合真空計 – 冷陰極和皮拉尼

5 X 10-9 mbar 至大氣壓的極寬測量范圍

倒磁控管沒有燈絲,不會出現絲極燒毀的現象

卓越的點火屬性

易清洗

FPM 或金屬密封饋入裝置

LED 指示器,高壓時亮起

對數模擬輸出信號

應用

高真空壓力測量

蒸發與濺射鍍膜系統

全真空范圍內的一般真空測量和控制

技術規格

型號
密封
MPG400
FPM密封
MPG401
金屬密封
測量范圍
5 × 10E-9至1000 mabr
精度(N2) 10E-8至100 mbar

≈±30%讀數
重復性
≈±5%讀數
輸出信號(電壓)

0至+10.5V

電源電壓
功率
+15至+30Vdc
≤2 W
電氣連接件

FCC 68/RJ45網口,8腳屏蔽
工作溫度
+5至+55℃
安裝方位任何
防護等級IP40

訂購資料

型號
密封
MPG400
FPM密封
MPG401
金屬密封
KF25351-010351-020
KF40351-011351-021
CF40351-012351-022
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