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HPG400皮拉尼高壓強電離真空計

INFICON 高壓熱電離 Pirani真空計 HPG400 將高壓熱電離技術與 Pirani 傳感器整合在一個體積小、價格低的規管中,可測量 2×10-6 mbar 至大氣氣壓(1.5×10-6 Torr 至大氣氣壓)范圍內的壓力。HPG400 提供高可重復性和再現性壓力測量,實現精確控制鍍膜濺射過程壓力。

特點

HPG400 可節省成本和工具空間,降低真空系統的安裝與設置的復雜性

高壓熱電離可以準確可靠地測量 1 X 10-5 至 1 mbar 范圍內的壓力,進而改善過程控制

用戶可選的熱電離發射在 5 X 10-2 至 1 mbar 之間啟動

皮拉尼聯鎖保護絲極,防止過早燒毀

備有可選的圖形顯示器和現場總線接口

高真空皮拉尼自動調節,減少操作員的干預

符合 RoHS 標準

應用

對半導體過程和傳輸腔室的壓力測量

工業鍍膜-濺射鍍膜

低真空至超高真空范圍內的一般真空測量和控制

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