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氣體混合系統

質量流量控制型-氣體混合系統,主要核心部件是氣體質量流量控制器(Mass Flow Controller),可進行各類氣體的定量混合,比例混合等,適用于各類實驗室氣體混合應用,支持已知各種氣體,自帶電腦軟件,可在電腦上遠程監控實時混合情況。

各組氣體流量范圍支持從2毫升/分鐘至3000升/分鐘(其它流量混合請咨詢)。

技術規格

氣體混合系統GMS
支持氣路至多8路氣體混合(其它請咨詢)
氣體控制原理熱式質量流量控制,壓力式
準確性±1%F.S(可選±1%Rd),≤50L/min
±1%F.S,50L至400L/min
±2%F.S,400L至2000L/min
±2.5%F.S,2000L至3000L/min
線性±0.2%F.S
響應時間≤1 sec,≤200L/min時
≤2 sec,200L至3000L/min時
壓力事項根據現場工況
預熱時間15分鐘(30分鐘精度保證)
工作溫度5-50℃
電源220V AC
連接方式LOK、VCR、ISO法蘭等
密封橡膠密封,金屬密封可選
顯示現場顯示:實時流量,累計流量
PC顯示:實時流量,累計流量,流量曲線
其它選項*1.CDG(薄膜壓力計):實時監測下游壓力,精度可達±0.2%壓力讀數
2.排氣節流閥(或其它閥門):實時控制下游腔體混氣壓力

*其它選項產品(具體請咨詢):

1.CDG薄膜壓力計型示意圖


2.真空閥門型示意圖


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