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356 Micro-Ion Plus

Granville-Phillips 356 Micro-lon Plus真空規模塊合并了新的微型Conductron熱損失傳感器和經驗證的Micro-lon規管技術于個真空封套中,從而擴展了從高真空到大氣壓的壓力測量。

兩個號感器合并在一個真空封套中節省了空間。真空系統控制通過使用熱損失傳感器來激活和關閉電離規而得到簡化。方便的按鈕控制可以進行模塊操作機兩個觸點繼電器的設定,無需通過電氣控制或計算機接口來實現。兩種型式的模塊可供選擇——帶模擬量輸出的RS-485接口或DeviceNet接口。

特點

從高真空到大氣壓的擴展測量范圍

兩個傳感器在一個節省空間的設計中

電離規雙燈絲結構可延長設備正常運行時間

電離規自動點亮和關閉

帶有按鈕可供手動操作及調校

兩個觸點繼電器用于安全互鎖控制

復合規管技術

要在一個跨度較寬的高真空系統中實現全壓力范圍的測量需要多個傳感器技術。以往這需要多個規管,多個真空連接口,以及多套電纜和電氣控制組件來實現。因此復合多傳感器技術于一個微型規管中有很大益處,只要傳感器之間互不干擾以及測量特性互不損壞。這些都由Micro-lon Plus設計實現了。它保留了Granville-Phillips Micro-lon規管設計的高性能同時配合新的微型熱損失傳感器封裝在電離規管中。新獲專利的Conductron熱損失傳感器是基于工業標準的Conductron規管20多年的市場經驗的理解和領悟而獲得的。

寬量程、高性能和緊湊尺寸使得Micro-Ion Plus模塊成為高真空系統壓力測量的明智選擇。


Micro-lon Plus真空計特性及優勢

寬量程:可以買現從1×10-9Torr(1×10mbar,1x 10-Pa)到大氣壓的連續真空系統特性監控。熱量更少些。

簡化的模塊設計:電子器件和傳感器打包在一起組成一個緊湊、簡便的安裝模塊,避免了多個規管、電纜和電子器件的需要。

控制系統簡化:內部集成的熱損失傳感器可以自動控制激活和關斷電離規,避免了額外的電離規控制需要。

RS-485、模擬量輸出及遠程I/O除了RS-485通訊和模擬量輸出外,模塊還提供規管開/關,除氣、大氣校準,及鎖鍵盤的輸入控制連同規管、燈絲和除氣的狀態輸出。

工藝設定點:繼電器觸點可以用來控制其他真空設備和提供安全互鎖。設定值可以通過本地顯示界、RS-485或DeviceNet接口進行調整

本地顯示(選項)可以指示當前點壓力值并能本地進行工藝設定點調整的綠色LED顯示和按鈕改善了建立時間和診斷能力。

DeviceNet接口型:提供壓力測量的高速讀取并實現規管參數的簡單配置。

DeviceNet網絡供電彈性化:規管供電既可以通過DeviceNet的微型接口實現也可以通過單獨的連接實現。

CE認證:全金屬封裝具有高水隹的抗射頻干擾能力。

世界上較小的復合規:Micro-lon Plus復合了新的微型Conductron熱損失傳感器和一個Micro-Ion傳感器在一個真空規管中,其體積不足傳統電離規的10%

高性能:完整的Micro-Ion設計保留有獲專利的雙離子收集極從而增加了電子路徑和離子收集效率,在小容積內提供高性能。

雙電離規燈絲:兩根耐燒斷的鍍氧化釔的銥絲實現了更長的規管壽命。利用第二根燈絲做備份可使規管工作到正常的維護周期再更換,避免了意外停機

工作溫度更低:Micro-Ion規管只有傳統玻璃管規或裸規功耗的8%,這就使得它產生的干擾工藝或試驗的熱量更少些。

穩固的全金屬設計:焊接元件、真空燒結及裝配均在潔凈環境下完成,最后將各元件封裝在不銹鋼外殼中以確保傳感器的集成。

接口篩網:保護裝配及真空系統維護中電極組件不受損壞,提供穩定的電氣環境改善測量性能。

真空接口的多種選擇:簡化了規管在真空系統中的安裝。

更換規管:僅僅使用螺絲刀就可以快速便捷地更換規管

技術規格

技術規格

空氣與N2的測量范圍
(見注釋1、2、3)

Torr

1X10-9至大氣壓

mbar

1X10-9至大氣壓

Pa

1X10-7至大氣壓
測量N2精度(見注釋4)
±15%讀數,從1X10-8至50Torr
重復性(見注釋5)
±5%讀數,從1X10-8至50Torr
發射電流
自動切換
自動切換(默認值)
(見注釋6)
電離規自動啟動
2X10-2Torr, 3X10-2mbar,3Pa,隨壓力下降
切換到高發射狀態4mA
5X10-6Torr, 7X10-6mbar,7X10-4Pa,隨壓力下降
切換到低發射狀態0.1mA
1X10-5Torr, 1X10-5mbar,1X10-3Pa,隨壓力上升
電離規自動關閉
3X10-2Torr, 4X10-2mbar,4Pa,隨壓力上升
除氣
電子轟擊,3.75W 2分鐘累時器

燈絲選擇

交替(默認)(見注釋7)
工作溫度
0-40℃,不結露

非工作溫度

-40-70℃

供電要求

24VDC ±15%,最大26W

外殼材料

鑄鋁
CE認證

EMC電磁兼容指令

89/336/EEC;EN 50081-2,EN 50082-2

低壓指令

73/23/EEC;EN 61010-1

重量

567gm (帶KF16法蘭)

顯示選項

2位數顯加指數顯示,綠色LED

設定點觸點

兩個單刀雙擲(SPDT)

觸點額定值

1A 30VDC阻抗,無感

范圍

1X10-9至50Torr,1X10-9至70mbar, 1X10-7Pa至7Kpa
規管烘烤溫度
150℃(電子器件移除)

內部容積

10.8 cm 3(0.67 inch 3)至篩網口的容積
Micro-lon Plus規管

X射線極限

<3X10-10Torr; <4X10-10mbar; <4X10-8Pa(見注釋8)

電離規材質

銥絲鍍氧化釔

熱損失傳感器材質

鎢絲鍍金

其它暴露于其他的材質

304不銹鋼,鉭,鎢,鎳

貼鎳合金,硼硅酸鹽玻璃

1.測量結果會隨不同氣體和混合情況而改變。

2.Micro-lon Plus規管不能用于易燃易爆氣體測量。

3.大氣壓的讀值基于使用時的校準值。

4.精度(規管讀數和校驗參考標準之間的差異)是通過數據統計確定的井且包括了規管和電子器件的綜合性能。

5.重復性是指同一模塊在不同時間讀取相同壓力值的能力。

6.高發射和低發射模式的默認切換點可以通過數字接口進行調整。

7.模塊將隨著電離規的每次開啟交替點亮兩根燈絲,除非您通過數字接口將模式選成自動(AUTO)。在自動模式下,燈絲1會用到失效。任何一個燈絲失效,模塊都會自動切換到好的那根燈絲工作。

8.X射線極限是規管的最小絕壓讀值。在X射線極限附近不可能進行重復測量。

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