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Edwards EPX高真空泵

EPX180L

EPX180LE

EPX180N

EPX180NE

EPX500L

EPX500LE

EPX500N

EPX500NE

Edwards新的緊湊型 EPX180 、EPX500高真空干泵的特性是:工作性能更佳,運行成本更低。EPX180 使用了獨特的專利保護機械裝置,能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的極限壓力。

模塊化 EPX180 、EPX500基于備受贊譽、大獲成功的 IPX 系列,可提供非常優秀的性能,與 IPX 相比,包裝重量輕了 20%、體積小了 30% 且功率降低了 40%。

EPX 泵系統在大氣壓和極限真空之間的壓力下工作,增壓室內無潤滑或密封液。這樣可以確保泵送系統清潔,不會因為系統的排空而使油或液體回流到系統中。

泵的定子和封閉馬達通過集成化水冷回路進行冷卻。因此,EPX 泵適合在不允許使用風扇的潔凈室環境下使用。冷卻水供應和回水管通過水接頭(由客戶指定)連接到泵。冷卻水的提供必須與環境條件(濕度和溫度)相當,以便不會達到結露點。

泵裝有一個 EMC 供應過濾器和一個變換器驅動,該驅動可提供和控制泵馬達的電源。前蓋上的 LED 標識 EPX 泵的狀態。馬達速度取決于泵入口處的壓力。當泵在入口壓力處于或接近大氣壓的情況下啟動時,馬達會加速到某個速度,該速度受可以由變換器驅動提供的電流限制。隨著入口處的壓力降低,馬達速度會加快,直至該速度最終達到其預定的最大速度。如果入口處的壓力增大,則馬達速度會再次減慢。

EPX L 系列的泵不能進行手動操作;這些泵必須通過外部控制設備進行控制和監視,而控制設備必須通過工具接口模塊 (TIM) 連接到 EPX 泵。

EPX 泵由四個振動隔離器進行支持。

泵保護傳感器可在出現故障狀態時自動關閉泵。

特點

緊湊的占地面積 – 作為可用的非常小工具上泵之一,EPX 顯著節省了占地面積。EPX 可以直接安裝到工具上,從而節省了前級管道和安裝成本,如果需要也可遠程安裝。

低運行成本 - EPX 僅需要 1.4 kW 的功率和整合空閑模式,從而可極大化功率效率。

獨特的專利保護機械裝置 – EPX 可以從大氣壓抽空到渦輪分子基準壓力,并可以在所有進氣口壓力下連續工作。

超清潔機械裝置 – 傳統的高真空軸承底油脂使用油脂潤滑,這可能成為制程工具中污染源。EPX 泵沒有高真空軸承底油脂,并且不存在任何其他的潛在污染源。

非常可靠 – EPX 基于經過現場驗證的 IPX 技術,具有 13 年的 MTBFp (SEMI E10),大約每 5 年維修一次,很大程度地延長了泵的使用壽命。

可兼容的網絡 - EPX 系列配有最終用戶控制,可以連接到各種結構的網絡,以進行診斷監視和控制。

應用

EPX 系列涵蓋廣泛的應用,從水處理到中度工作負載的制程。

EPX“L”系列旨在用于泵送惰性氣體混合物(如負荷鎖定)且通過制程機臺接口提供控制的清潔工作應用。

技術規格

型號

EPX180

EPX500

峰值抽速

170m3/h

500m3/h

極限真空

7.5X10E-5Torr

7X10E-7Torr

預熱時間

30min

入口法蘭

63

160

出口法蘭

NW25

噪音

<59dB

最小冷卻水流速

2L/min

冷卻水溫度

15-35℃

電源

100V,220V,380V

極限功率

1.4Kw

電機額定功率

3Kw

TIM

C3

重量

43.5Kg

45.2Kg

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