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ELD500氦質譜檢漏儀

Edwards新型ELD500全自動氦質譜檢漏儀已經上市。是為在廣泛的應用中快速、準確地檢測泄漏而設計的,并且是完全可移動的;易于使用的控制界面。EdwardsELD500是您在泄漏檢測方面的明智選擇。

特點

性價比高

移動解決方案

可定制的任何應用程序

高穩定性和準確性

應用

分析儀器:電子顯微鏡、泄漏檢測、質譜、表面分析

半導體:負載鎖定、過程、計量、光刻技術、PVD、等離子體刻蝕、CVD、平板顯示器、LED

研究和開發:空間模擬、低溫研究、納米技術、涂層系統

工業:工業泄漏檢測、電子束焊接、燈管制造、玻璃涂料、剎車線和空調、制冷系統制造商、熱處理、電源、真空爐

高能物理:束線、加速器、融合、激光疏散

技術規格

類型

WET

DRY

FLEX

可檢測的氦泄漏率mbar.L/s

真空操作

≤ 5 x 10-12

≤ 3 x 10-11

≤ 5 x 10-12(配泵)

吸槍操作

≤ 7x10-9

最大可測氦泄漏率
mbar.L/s
(真空操作)

>0.1

檢測范圍

12個數量級

最大允許進口壓力

15mbar

泵送速度50hz / 60hz

2.5/3 m3/h

1.6/1.8 m3/h

N/A

在精細模式下的氦抽運速度

3.1L/s

泄漏率信號的時間常數

<1s

啟動時間

≤2min

功率

420VA

350VA

200VA

入口法蘭

NW25

尺寸mm

495x456x314

重量

40Kg

35.5Kg

30Kg

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