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CDG025D-X3電容膜片真空計

INFICON SKY CDG025D-X3 電容式隔膜真空計系列的高精度、溫度補償型壓力計,可以在惡劣的生產加工環境中提供穩定的性能。高級數字電子元件可提高儀表性能, 且易操作, 例如一鍵歸零功能和設定點調整。防腐蝕超純陶瓷傳感器提供優異的零位穩定性(包括氣壓突變的情況),預期使用壽命長達數百萬次壓力循環。獨有的傳感器屏蔽(專利申請中)可防止儀表被過程污染。堅固的機械設計和數字電子元件可以改進電磁兼容性 (EMC)、長期穩定性和溫度補償。CDG025D-X3 為開機后快速穩定以及從氣壓中快速恢復的功能樹立了新的標準。

特點

從 100 mTorr 至 1000 Torr 的滿刻度量程

電源接通后快速穩定

暴露于大氣壓后快速恢復

防腐蝕陶瓷傳感器

卓越的長期信號穩定性

溫度補償

傳感器受雙重防污染保護

一鍵調零功能

寬范圍電源

2個設定點

RS232 接口

無塵室合規

應用

用于蝕刻、CVD、PVD 和 ALD 的半導體制造設備

數據存儲和顯示器制造設備

工業真空設備

經濟、高度精確的壓力測量

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