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高精度電容薄膜真空計

INFICON CDG025D電容膜片真空計是高精度溫度補償型真空計設計用于在嚴酷的制造工具環境中具有穩定的性能. 先進的數字電子學提高真空計的性能和提供容易操作的特點如一鍵調零的功能和設點調整. 抗腐蝕的超純陶瓷傳感器提供卓越的零點穩定性, 以及引起能達到數百萬次壓力循環包括大氣沖擊的長的使用壽命.獨特的傳感器屏蔽保護真空計防止過程污染. 經久耐用的機械結構和數字電子學提高EMC兼容性, 長期穩定性和溫度補償能力。

特點

滿量程范圍從0.1乇至1000乇

通電后快速穩定性

暴露大氣壓的快速恢復性

抗腐蝕的陶瓷傳感器

優秀的長期信號穩定性

溫度補償

傳感器有防污染保護

一鍵調零功能

寬范圍電源

兩個設點 (可選)

RS232 接口 (可選)

應用

半導體制造設備用于刻蝕, CVD, PVD, ALD

數據存儲和OLED,LCD制造設備

工業真空設備

混氣實驗設備

一般高精度壓力測量

技術規格(基于Torr的標準產品)

滿量程范圍(Torr)
1000
1001010.1
精度
( 在25°C環境工作溫度下運行兩小時后無非線性,滯后性,再現性的溫度效應)
0.2%讀數0.5%讀數
溫度效應
在零點
在滿量程

0.005%滿量程/℃
0.01%讀數/℃

0.015%滿量程/℃
0.01%讀數/℃

0.02%滿量程/℃
0.02讀數/℃
分辨率0.003%滿量程
最大壓強(絕對壓力)400Kpa260Kpa130Kpa
響應時間30ms130ms
最低壓強讀值0.01%滿量程
最低建議壓強0.05%滿量程
最低建議控制
壓強(排氣節流閥聯控時)
0.5%滿量程
電源電壓
功率
+14至+30Vdc
≤1 W
輸出信號0至+10V模擬量
電氣連接件
D-sub 15針
工作溫度
+5至+50℃
烘烤溫度≤110℃法蘭處(未運行)
安裝方位垂直
水平(要求)
防護等級IP30

1.其它滿量程請咨詢

2.設定點繼電器,RS232C僅CDG025D-S

訂購資料

CDG025D,溫度補償型


滿量程范圍1/2"英寸管DN 16 ISO-KFDN 16 CF-R
8VCR
1000Torr375-000375-001
375-002
375-003
100Torr376-000376-001
376-002
376-003
10Torr377-000377-001
377-002
377-003
1Torr378-000378-001
378-002
378-003
0.1Torrr379-000379-001
379-002
379-003

CDG025D-S,2個設定點,RS232接口,溫度補償型


滿量程范圍1/2"英寸管DN 16 ISO-KFDN 16 CF-R
8VCR
1000Torr
133KPa1333mbar375-300375-301
375-302
375-303

110Kpa
1100mbar375-500375-501
375-502
375-503
200Torr26.6Kpa267mbar382-300382-301
382-302
382-303
100Torr
13Kpa133mbar376-300376-301
376-302
376-303

10Kpa100mbar376-500
376-501
376-502
376-503
20Torr2.66Kpa26.7mbar383-300
383-301
383-302
383-303
10Torr
1.3Kpa13mbar377-300377-301
377-302
377-303

1Kpa10mbar377-500
377-501
377-502
377-503
1Torr
133Pa1.3mbar378-300378-301
378-302
378-303

100Pa1mbar378-500
378-501
378-502
378-503
0.25Torr33.3Pa0.33mbar385-300
385-301
385-302
385-303
0.1Torrr
13.3Pa0.13mbar379-300379-301
379-302
379-303

10Pa0.1mbar379-500
379-501
379-502
379-503
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