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BAG302離子真空計

INFICON  Bayard-Alpert 熱電離真空計 BAG302 涵蓋從 1.3 × 10-9 至 6.7 × 10-2 mbar(1 × 10-9 至 5 × 10-2 Torr)的廣泛測量范圍。緊湊型一體化熱電離真空計 BAG302 能夠輕松地更換雙燈絲傳感器、內置 OLED 顯示器、設定點繼電器和對數線性模擬輸出以及集成 RS485 數字接口,提高了集成靈活性。這些功能配以堅固的設計,使 BAG302 為其自身的基本壓力測量儀器帶來經濟且可重復的過程,并提供高價值、低擁有成本的選擇。

特點

測量范圍從 1.3 × 10-9 至 6.7 × 10-2 mbar(1 × 10-9 至 5 × 10-2 Torr)

雙標準長使用壽命氧化釔銥絲

一體式主動測量儀,內置顯示器、設定點、模擬輸出和標準集成式 RS485 數字接口

帶鍵盤的明亮的數字 OLED 顯示屏,簡化設置、操作和編程

用戶可編程的設定點繼電器

用戶可編程的顯示器單位:mbar、Torr 或 Pa

用戶可選的發射電流自動設換范圍

機械強度和堅固性

各種法蘭的選擇

易于更換的傳感元件

合規和標準:CE、RoHS

應用

對半導體過程和傳輸腔室的壓力測量

工業鍍膜

低真空至超高真空范圍內的一般真空測量和控制

技術規格

測量范圍

1*10﹣9至5*10-2Torr/1.3*10-9至6.7*10-2mbar/1.3*10-7至6.7Pa

精度

10-8至5*10-2Torr ±15%讀數

重復性

±5%讀數

顯示

OLED,3位數+1位指數,Torr,mbar,Pa單位可選

X-射線極限

5*10-10Torr

發射電流

100Μa,4mA或自由切換之間

除氣

3W,EB

烘烤溫度

200℃,僅規管

安裝方式

任意

重量

270g

數字接口

RS485-ASCII協議

信號輸出

線性模擬量0-9V

設定繼電器

1個設定點繼電器,1W,30A直流或交流無感電阻

電源

20-28Vdc,30W,防止反轉保護和瞬態過電壓。

燈絲

雙氧化釔涂銥絲或雙鎢絲

電氣接口

9 Pin D-Sub模擬和9Pin D-sub RS485

認證

符合CE標準

環境認證

符合RoHs標準

訂購資料


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